KB S&D는 통째로, 가치를 보전합니다.
Display 산업에서 유리나 필름의 두께와 고정밀도 롤러의 진동 측정,
반도체 산업에서 웨이퍼 두께와 고정밀도 로봇의 위치 확인 등에 사용됩니다.
사양 | ||
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측정모드 | 두께, 변위 | |
정밀도 | 10 nm | |
측정범위 | 0.2~2 mm | |
기준거리 | 12 mm | 사양에 따라 조정가능 |
파장 | 1050 nm / 1550 nm | 사양 변경 가능 |
스폿직경 | 200 um 확인 | |
채널 확장성 | 16 Ch. | 사양 변경 가능 |
전원사양 | Single phase, AC 220V, 60Hz | |
사용자 환경 온도/습도 | 0~45°C / 20~85% RH(결로되지 않은 환경) |